我系張晨助理教授發表的論文獲評美國質量學會2019年度Brumbaugh獎2019.12.15 1489

  我系青年教師張晨博士于2018年發表在《Journal of Quality Technology》的論文“Multiple profiles sensor-based monitoring and anomaly detection”獲得美國質量學會(American Society for Quality, ASQ)2019年度Brumbaugh獎。此獎項自1949年起頒發給當年發表在美國質量協會下屬七大期刊的最佳論文,每年只評一篇。

  張晨博士是該論文的第一作者,其他作者包括美國亞利桑那大學嚴昊教授、佐治亞理工大學史建軍教授(通訊作者)和韓國三星電子集團Seungho Lee博士。該論文致力于解決半導體硅片生產中光刻工藝中的質量監控問題。光刻工藝的質量監控是很多半導體公司面臨的瓶頸問題之一。此研究通過對光刻工藝中實時采集的各種環境變量的觀測值進行統計分析,從而實現對硅片的光刻質量監控。光刻生產裝置中有上百個傳感器,每個傳感器采集的環境變量觀測值均為一個有限時間長度的輪廓數據。基于這種高維輪廓數據的在線監控在統計過程監控研究領域是極具挑戰性的問題。該研究通過構建有效特征提取方法對高維輪廓數據進行建模,實現對高維輪廓數據之間復雜的相關結構的準確描述,然后進一步構造在線監控算法,實現對稀疏異常信號的精準在線監控,顯著提高了光刻工藝合格率(yield)。

(ASQ網站的公告)

(論文首頁)

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